Полностью автоматизированная осаждения заводы серии вера были разработаны ВТД для промышленного использования. Они особенно подходят для недорогих высокоточных оптических покрытий плоских и выпуклых деталей.
Оборудование в каждом отдельном заводе осаждение точно приспособлена к требованиям конкретных пользователей. Различные возможности применения с точки зрения подложки с покрытием и многослойных систем на хранение.
Размеры камеры варьируются между 700 и 2000 мм.
Высокий вакуум создается с комбинациями насосов, в основном на основе диффузии масляный насос или холодильник крио-насос, которые были опробованы и испытаны в промышленности.
Различные держатели подложки, такие как различные своды или поддонов с переменной роторного или планетарного привода обеспечить равномерное распределение пленки в сочетании с толщиной пленки коррекция жалюзи.
Различные предлучевой обеспечить хорошие условия прилипания.
Фактический покрытия осуществляется с помощью источников паров (электронно-лучевых и/или испарителей сопротивлением) и часто также включает в себя ионный или плазменный источник для так называемых ионно-ассистируемого осаждения (ОВР). Распыления и ионно-лучевого распыления альтернативные процедуры покрытия.
Приборы для определения и ограничения толщины пленки и контроля зарастания скорость и другие важные составляющие процесса. Дополнительные оптические измерительные системы используются для особо сложных приложений.
Мелкие растения доступны для лабораторной работы.