Моделирование и проектирование решений микроэлектромеханических (МЭМС) на самом деле эксклюзивная технология сила воли. На крошечные размеры весов, стиль резонаторов,акселерометры и гироскопы, и приводы должны смотреть на результаты ряда реальных явлений в пределах своей процедуры. В результате, в среде comsol multiphysics с в основном предназначены для МЭМС приложений. В данном конкретном заключение МЭМС-элемент предлагает потребительские предопределенных интерфейсов с подключенным моделирования ресурсов, известный как науки интерфейсы, для ряда сопряженных дисциплин, таких, как электро-магнитная композиция, энергии-основы, или жидкость-строительных соединений. Вы можете внести свой вклад демпфирования различных явлений внутри вашей версии: "леан-фильм бензина демпфирования, уменьшение анизотропного-элементы для надежной и пьезо ресурсов, якорь демпфирования, и термоупругого демпфирования. Для гибких волн и вибраций, должным образом скоординированной уровнях (PMLs) дать статус самого ремесла потребления общительная гибкая сила.