+7 (812) 645-08-06
Машины покрытием cvd
Выбор производителя
Отложение ССЗ машина тонкой пленки серии УЛС
Серия uls является ряд машина низложения ССЗ от Acxys. Стандартный модуль предназначен для ввода номера-stochiometric оксида кремния с использованием органических...
Отложение ССЗ машина тонкой пленки серии УЛС
Серия uls является ряд машина низложения ССЗ от Acxys. Стандартный модуль предназначен для ввода номера-stochiometric оксида кремния с использованием органических прекурсоров металлов. Это также позволяет другим компонентам фильмов для изучения. Оборудование осаждения основан на конструкции uls и получает дополнение части включения впрыска прекурсора.
Машина обеспечивает думаете осаждения пленок с содержанием SiO2 и SiOx покрытий. Он может вместить толщину от 50 до 1000 Нм при одинаковости /- 2%. Он также генерирует средней и высокой скорости обработки. Кроме того, машина проста в использовании и может быть легко установлен на оборудование УЛС.
Машина обеспечивает думаете осаждения пленок с содержанием SiO2 и SiOx покрытий. Он может вместить толщину от 50 до 1000 Нм при одинаковости /- 2%. Он также генерирует средней и высокой скорости обработки. Кроме того, машина проста в использовании и может быть легко установлен на оборудование УЛС.
Осаждение ПХО машина / вакуум
Применение
Усиленного плазмой ССЗ р-я-н тандем стек аморфного гидрогенизированного кремния на металлических фольг для производства поглощением солнечной энергии Multi-слоев.
Техники и технологии
Система плазменного осаждения покрытия рулонной продукции завода типа разработаны для одностороннего покрытия вакуума до 1,340 мм Ширина металлической фольги.
Зоны осаждения состоит...
Усиленного плазмой ССЗ р-я-н тандем стек аморфного гидрогенизированного кремния на металлических фольг для производства поглощением солнечной энергии Multi-слоев.
Техники и технологии
Система плазменного осаждения покрытия рулонной продукции завода типа разработаны для одностороннего покрытия вакуума до 1,340 мм Ширина металлической фольги.
Зоны осаждения состоит...
Осаждение ПХО машина / вакуум
Применение
Усиленного плазмой ССЗ р-я-н тандем стек аморфного гидрогенизированного кремния на металлических фольг для производства поглощением солнечной энергии Multi-слоев.
Техники и технологии
Система плазменного осаждения покрытия рулонной продукции завода типа разработаны для одностороннего покрытия вакуума до 1,340 мм Ширина металлической фольги.
Зоны осаждения состоит из одного или нескольких электродов ВЧ внутри газонепроницаемой объема и настроен для вертикальной наплавки. Особая конфигурация зон осаждения предотвращает перекрестное загрязнение.
Подложки предварительно нагревают перед нанесением покрытия, нагревается в процессе наплавки и остывания после нанесения. Перепады температур на фольге не более 4 ° с/см. Температуры на электрические приборы, изогнутые пластины и подложки контролируется с помощью термопар и датчиков.
Подложка механически поддерживается с подогревом изогнутые пластины. Изогнутая пластина состоит из нескольких сегментов с радиусом закругления 10 метров.
Необратимые система автоподзавода обеспечивает натяжение и обработки фольги без царапин и складок.
Насосная система состоит из механического бустера и сухой форвакуумный насосы. Зоны РФ имеют отдельные линии насосов регулирование варьировать потоков и давления газа независимо в каждой зоне.
Два уровня сервисной платформы, mobeable дверь камеры и RF электроды обеспечивают удобство обслуживания.
Система управления применяется модульная конструкция для легкого расширения программного управления.
Усиленного плазмой ССЗ р-я-н тандем стек аморфного гидрогенизированного кремния на металлических фольг для производства поглощением солнечной энергии Multi-слоев.
Техники и технологии
Система плазменного осаждения покрытия рулонной продукции завода типа разработаны для одностороннего покрытия вакуума до 1,340 мм Ширина металлической фольги.
Зоны осаждения состоит из одного или нескольких электродов ВЧ внутри газонепроницаемой объема и настроен для вертикальной наплавки. Особая конфигурация зон осаждения предотвращает перекрестное загрязнение.
Подложки предварительно нагревают перед нанесением покрытия, нагревается в процессе наплавки и остывания после нанесения. Перепады температур на фольге не более 4 ° с/см. Температуры на электрические приборы, изогнутые пластины и подложки контролируется с помощью термопар и датчиков.
Подложка механически поддерживается с подогревом изогнутые пластины. Изогнутая пластина состоит из нескольких сегментов с радиусом закругления 10 метров.
Необратимые система автоподзавода обеспечивает натяжение и обработки фольги без царапин и складок.
Насосная система состоит из механического бустера и сухой форвакуумный насосы. Зоны РФ имеют отдельные линии насосов регулирование варьировать потоков и давления газа независимо в каждой зоне.
Два уровня сервисной платформы, mobeable дверь камеры и RF электроды обеспечивают удобство обслуживания.
Система управления применяется модульная конструкция для легкого расширения программного управления.
Машина осаждения ПХО
Применение
Пилот методом нанесения покрытий предназначена для изготовления Р-И-Н стеки аморфного гидрогенизированного кремния на металлических фольгах. В cotar используется в качестве инструмента для экспериментов для оптимизации усиленного плазмой химического осаждения паров...
Пилот методом нанесения покрытий предназначена для изготовления Р-И-Н стеки аморфного гидрогенизированного кремния на металлических фольгах. В cotar используется в качестве инструмента для экспериментов для оптимизации усиленного плазмой химического осаждения паров...
Машина осаждения ПХО
Применение
Пилот методом нанесения покрытий предназначена для изготовления Р-И-Н стеки аморфного гидрогенизированного кремния на металлических фольгах. В cotar используется в качестве инструмента для экспериментов для оптимизации усиленного плазмой химического парофазного осаждения функциональных покрытий и производства судебных материалов.
Техники и технологии
Пилот методом нанесения покрытий является печать с рулона на рулон Тип завод спроектирован для одностороннего покрытия вакуума до 350 мм металлической фольги.
Покрытие наносится с помощью ВЧ разряда. Зоны осаждения состоит из электрода РФ в том газонепроницаемыми. Загрязнение-свободный условия в зоне осаждения.
Подложки предварительно нагревают перед нанесением покрытия, нагревается в процессе наплавки и остывания после нанесения. Перепады температур на фольге не более 4 ° с/см. Температуры на электрические приборы, изогнутые пластины и подложки контролируется с помощью термопар и датчиков.
Пилот методом нанесения покрытий предназначена для изготовления Р-И-Н стеки аморфного гидрогенизированного кремния на металлических фольгах. В cotar используется в качестве инструмента для экспериментов для оптимизации усиленного плазмой химического парофазного осаждения функциональных покрытий и производства судебных материалов.
Техники и технологии
Пилот методом нанесения покрытий является печать с рулона на рулон Тип завод спроектирован для одностороннего покрытия вакуума до 350 мм металлической фольги.
Покрытие наносится с помощью ВЧ разряда. Зоны осаждения состоит из электрода РФ в том газонепроницаемыми. Загрязнение-свободный условия в зоне осаждения.
Подложки предварительно нагревают перед нанесением покрытия, нагревается в процессе наплавки и остывания после нанесения. Перепады температур на фольге не более 4 ° с/см. Температуры на электрические приборы, изогнутые пластины и подложки контролируется с помощью термопар и датчиков.
Осаждение ПХО машина / вакуум - PentaBlue
PentaBlue является методом (усиленного плазмой химического осаждения паров) система покрытия, где пластины покрыты просветляющим слоем, состоящим...
Осаждение ПХО машина / вакуум - PentaBlue
PentaBlue является методом (усиленного плазмой химического осаждения из Паровой фазы) системы, где покрытие пластин покрыты антибликовым слоем, состоящим из нитрида кремния. Эта технология использует прямые плазменный реактор, который обеспечивает улучшенную эффективность ячейки и плотности Си-нитрат слоя по сравнению с удаленной плазмой реактора. В PentaBlue обеспечивает отличную пассивацию поверхности из-за высокой температуры процесса и процесса прямой плазменной и гарантирует стабильный и воспроизводимый процесс и характеризуется выдающейся равномерностью слоя.