Газовые проточные нагреватели по Watlows сделаны для регулирования температуры газовых линий для предотвращения конденсации. Газов, таких как тетраэтил ортосиликата, трихлорид бора, хлорид алюминия, трифторид хлора,...
Газовые проточные нагреватели по Watlows сделаны для регулирования температуры газовых линий для предотвращения конденсации. Газов, таких как тетраэтил ортосиликата, трихлорид бора, хлорид алюминия, трифторид хлора, и дихлорсилан может быть конденсат и сжиженный из-за низких температур во время смены фазы. В процессе полупроводниковых конденсация будет происходить, и это может лужу в душ перед подачей в вакуумную камеру. Воды дефекты могут возникнуть, если газы, которые сжижаются вводят в той же камере. Конденсация предотвращается путем равномерного нагрева линий. Как правило, линии ТЕОС может быть нагрета до 194 градусов по Фаренгейту, и это может зависеть от скорости потока и давления. В зависимости от параметров процесса оптимальная температура.